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上海半导体行业污染物排放标准对废气处理有何修订?

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文章出处:责任编辑:作者:李红祥 手机:18410011020人气:-发表时间:2021-03-11 16:41:00

上海积塔半导体废气处理工程案例

上海积塔半导体废气处理工程案例

  近日,上海市生态环境局发布的“关于征求《半导体行业污染物排放标准(征求意见稿)》意见的函”(沪环函〔2021〕27号),引起了半导体制造及环保行业的高度关注。半导体废气处理工程,可谓北京体育外围废气处理环保公司的核心业务。对半导体行业废气处理,上海市半导体污染物达标排放标准(征求意见稿)对其做了哪些内容修订,尤其值得我们关注。
  在半导体废气处理方面,上海《半导体行业污染物排放标准(征求意见稿)》对其做了以下修订,如下:
  1、半导体行业废气处理方面,调整了大气污染物排放标准的排放速率控制方式,将原来按不同排气筒高度制定标准调整为执行同一标准;
  编制说明:排气筒排放的有组织废气,采用排放浓度与排放速率共同控制的方式。现行标准在排放速率控制方面,根据不同的排气筒高度给出了不同的排放速率标准限值要求,排气筒越高,制定的排放速率也越大,允许企业排放的污染物总量也越大。这样的要求并不能起到促进降低企业排放的目的,征求意见稿中排放速率的限值不再与排气筒高度相关。
  2、调整了半导体行业废气处理污染物控制项目:增加了大气污染物控制项目颗粒物、氯气、氮氧化物、苯、锡及其化合物、砷化氢、磷化氢、非甲烷总烃、氰化氢;
  编制说明:现行标准中有组织废气的控制因子为硫酸雾、氯化氢、氟化氢、氨和VOCs等5项。征求意见稿根据企业排放特性和监管要求,增加了氮氧化物、颗粒物、非甲烷总烃、氰化氢、苯、氯气、锡及其化合物、砷化氢和磷化氢等9项指标有组织废气控制因子。
  3、调整了半导体行业废气处理部分污染物项目的排放限值:收严了硫酸雾、氯化氢、挥发性有机物等3项大气污染物的排放限值;
  4、增加了厂界大气污染物控制点浓度限值;
  编制说明:半导体行业企业在生产过程中对环境要求很高,基本上都在洁净厂房内进行作业。现行标准未对厂界提出控制要求。为了保护公众健康,防范环境风险,征求意见稿设置了包括非甲烷总烃在内4项指标的厂界大气污染物浓度限值。
  5、更新了部分污染物项目的测定分析方法。

征求意见稿中有关大气污染物排放限值要求如下所列:

污染源大气污染物排放限值

 

  排放氯气、氰化氢、砷化氢、磷化氢的排气筒高度不低于25m,其他排气筒高度不低于15m;
  进入VOCs燃烧(焚烧、氧化)装置的废气需要补充空气进行燃烧、氧化反应的,排气筒中实测大气污染物排放浓度,应换算成基准含氧量为3%的大气污染物基准排放浓度;
  VOCs(挥发性有机物)分析方法标准:HJ734《固定污染源废气挥发性有机物的测定固相吸附-热脱附/气相色谱-质谱法》;
  为减少全氟化物(PFCs)排放对环境产生的影响,集成电路制造企业应制订PFCs排放的年削减计划,通过优化工艺、原料替代、循环利用、污染治理等措施减少PFCs的排放;
  半导体新建项目应避免采用燃烧式预处理方式(POU)处理含氯废气。

厂界大气污染物监控点浓度限值

厂界大气污染物监控点浓度限值

  以上是从上海市半导体行业污染物排放标准(征求意见稿)内容中,选取的半导体行业废气处理方面的最新内容修订。欢迎大家继续关注体育外围官网环保行业最新动态,谢谢!

 

 

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